Oerlikon真空計原理介紹

Oerlikon真空計原理介紹
Oerlikon真空計 熱電偶規 如右圖所示，熱電偶規與皮拉尼電阻規基本原理一致，只是它不用測量熱絲電阻的變化，而是用熱電偶測量熱比的溫度變化。
測量范圍一般與在0.1Pa至1000Pa。
與皮拉尼電阻規一樣，這種規也需要在不同的使用氣體下標定。
Oerlikon真空計熱陰電離規
熱陰電離規 如右圖所示，熱陰電離規中，由熱陰即燈絲發射電子，電離真空中的氣體分子，產生離子，由收集收集產生的離子，形成離子電流，通過測量離子電流的大小即可推算出真空中氣體分子的密度，進而得到氣壓大小。
這種規的測量范圍一般為1.0E-05Pa至0.1Pa。
經改進后的熱陰電離規，Bayard-Alpert規，可以將測量下限降低至1.0E-09Pa。
由于不同氣體在相同氣壓下的電離率不同，這種規在使用時也需要在不同氣體下進行標定。
真空計冷陰電離規
冷陰電離規 如右圖所示，冷陰電離規也是通過電離氣體分子收集離子電流的方法進行氣壓測量，但與熱陰電離規不同的是，它是利用磁控放電電離氣體分子產生離子。
這種規的測量范圍一般為1.0E-07Pa至0.1Pa。
與熱陰電離規同樣的原因，這種規在使用時需要在不同氣體下標定。
Oerlikon真空計
按照Oerlikon真空計測量原理所利用的不同的物理機制，可將主要的真空計分為三大類，分別是利用力學性能、利用氣體動力學效應和利用帶電粒子效應的真空計。
利用力學性能的真空計典型的有波爾登規（Bourdon）和薄膜電容規；利用氣體動力學效應的典型真空計有皮拉尼（Pirani）電阻規和熱電偶規；利用帶電粒子效應的典型真空計有熱陰電離規和冷陰電離規。 如右圖所示，細的銅管受氣體壓力不同會有舒展現象，會帶動杠桿和齒輪旋轉，使得指針指示在不同刻度上，即可讀出相應的氣壓值。
這種規的測量范圍一般在100Pa至1atm。 如右圖所示，在不同壓力下金屬膜片受力不同會有不同尺度的變形，使得金屬膜片和電之間的電容變化，通過測量電容的變化量，即可知道金屬膜片上氣壓的變化。
這種規的測量范圍一般橫跨4個量級，比如可能是0.01Pa至100Pa、0.1Pa至1000Pa等。
這種規的優點是靈敏度很高。缺點是必須在高于環境溫度的恒溫條件下使用，以消除溫度不同對膜片力學性能的影響，使用前一般需要預熱數小時。 也叫做熱電阻真空計，它是利用電阻與溫度之間關系的原理工作的。
如右圖所示，由于不同氣壓下氣體分子熱傳導能力不同，當給熱絲加恒定的電流時，由于氣壓不同通過氣體傳導走的熱量不同，熱絲所保持的溫度就不同，這導致熱絲電阻大小不同，通過測量熱絲電阻大小就可以推算氣壓大小。
如果配合電橋測量熱絲電阻的變化，將有效提高測量的準確度。
這種規的測量范圍一般在0.1Pa至1000Pa。
由于不同氣體在相同氣壓時導熱性不同，所以這種規需要在不同的使用氣體下標定。 如右圖所示，熱電偶規與皮拉尼電阻規基本原理一致，只是它不用測量熱絲電阻的變化，而是用熱電偶測量熱比的溫度變化。
測量范圍一般與在0.1Pa至1000Pa。
與皮拉尼電阻規一樣，這種規也需要在不同的使用氣體下標定。 如右圖所示，熱陰電離規中，由熱陰即燈絲發射電子，電離真空中的氣體分子，產生離子，由收集收集產生的離子，形成離子電流，通過測量離子電流的大小即可推算出真空中氣體分子的密度，進而得到氣壓大小。
這種規的測量范圍一般為1.0E-05Pa至0.1Pa。
經改進后的熱陰電離規，Bayard-Alpert規，可以將測量下限降低至1.0E-09Pa。
由于不同氣體在相同氣壓下的電離率不同，這種規在使用時也需要在不同氣體下進行標定。 如右圖所示，冷陰電離規也是通過電離氣體分子收集離子電流的方法進行氣壓測量，但與熱陰電離規不同的是，它是利用磁控放電電離氣體分子產生離子。
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萊寶真空計有：
- 用于測量粗真空的各種工作原理的機械指針式真空表。
- 各種間接測量的數顯真空規，它們是：
- 熱電阻真空規(皮拉尼規) TTR91、TTR91S、TTR96、TTR96S
- 冷陰電離真空規(潘寧規) PTR225
- 薄膜電容規 CTR100、CTR91
- 薄膜/皮拉尼復合規 TTR100、TTR100S
- 冷陰電離/皮拉尼復合規 PTR90
- 熱陰電離/皮拉尼復合規 ITR90
- 便攜式真空表TM90、TM100
- 新型Center和Display系列真空計
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按真空度刻度方法分類 (1)真空計：讀取氣體壓力，其壓力響應(刻度)可通過自身幾何尺寸計算出來或由測力確定。真空計對氣體都是準確的且與氣體種類無關，屬于真空計的有U型鎊壓力計、壓縮式真空計和熱輻射真空計等。 (2)相對真空計：由一些氣體壓力有函數關系的量來確定壓力，不能通過簡單的計算進刻度，必須進行校準才能刻度。相對真空計一般由作為傳感器的真空計規管(或規頭)和用于控制、指示的測量器組成。讀數與氣體種類有關。相對真空計的種類很多，如熱傳導真空計和電離真空計等。 按真空計測量原理分類 測量真空計 這種真空計測量單位面積上的力，有: (1)靜態液位真空計：利用U型管兩端液面差來測量壓力。 (2)彈性元件真空計：利用與真空相連的容器表面受到壓力的作用而產生彈性變形來測量壓力值的大小。 間接測量真空計 壓力為10-1Pa時，作用在1cm2表面上力只有10-5N，顯然測量這樣小的力是困難的。但可根據低壓下與氣體壓力有關的物理量的變化來間接測量壓力的變化。屬于這類的真空計有： (1)壓縮式真空計：其原理是在U型管的基礎上再應用波義耳定律，即將一定量待測壓力的氣體，經過等溫壓縮...